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 Moyens technologiques MOEMS

Depuis l’an 2000, d’importants moyens ont été attribués au LAM pour la mise en place de moyens nationaux et européens de caractérisation des MOEMS (systèmes micro-opto-électro-mécaniques). Dès 2001, nous avons fait partie des premières opérations technologiques sélectionnées par le Pôle Photonique POPsud, ce qui nous a permis de recevoir des moyens importants de la Région PACA, du Conseil Général des Bouches-du-Rhône et de l’Europe (Fonds Feder). Ces moyens de tests de composants MOEMS est unique en Europe et repose sur le développement de trois bancs spécifiques.



Contact :
Frédéric ZAMKOTSIAN : +33 (0) 495 044 151



Le premier banc a été développé pour mesurer les performances des fentes programmables, comme le contraste, ou leur impact sur le design d’instrument. Ce banc modulaire permet d’accéder aux pupilles d’entrée et de sortie, possède des sources multiples, ponctuelles et étendues, avec des spectres très différents, et permet d’obtenir simultanément une image du champ de vue et une image des pupilles. Il permet d’effectuer des mesures aussi bien sur les fentes en réflexion (micro-miroirs orientables) que les fentes en transmissions (micro-obturateurs). Il permet également depuis peu de mesurer les réseaux de diffraction programmables.
Ce banc est opérationnel depuis 2002.


Le deuxième banc de caractérisation est dédié à la mesure de surface de grande précision. Basé sur un interféromètre de Michelson haute résolution, il permet d’observer aussi bien un champ de 1mm (actionneur individuel) que de 40mm (composant complet). Une source à faible cohérence (qq dizaines de microns) permet d’éviter la plupart des sources de franges parasites. Nous pouvons ainsi mesurer les déformées, l’actionnement et la réponse dynamique par les techniques d’interférométrie à balayage de phase, multi-longueurs d’onde et moyennée dans le temps. Par une amélioration des procédures de mesures, la performance de ce banc atteint des résolutions exceptionnelles sub-nanométriques. Le banc est opérationnel depuis 2004.


Dans la poursuite de notre plan de développement des moyens de caractérisation de composants MOEMS au LAM, nous avons initié le développement d’un troisième banc de caractérisation (COL - Cryostat Optique du LAM) permettant de mettre les composants sous vide et dans des conditions cryogéniques. Des températures allant de l’ambiante à 30K peuvent être obtenues dans la chambre à vide (0,5 m3).Placé sous la responsabilité technique du Service Essais, la fiabilité et la qualité du moyen peuvent ainsi être garanties. Ces moyens seront aussi utilisés pour le test de démonstrateurs d’instruments.
Le COL, installé fin 2012, sera opérationnel courant du printemps 2013

Notre plate-forme a déjà permis de mesurer des composants provenant d’horizons très divers comme les micro-miroirs orientables de Texas Instruments (DMD Development kit et DMD Cinema chip), de l’EPFL-Neuchatel, les prototypes de micro-obturateurs de la NASA, les micro-miroirs déformables électrostatiques du LAAS, de MEMSCAP, d’OKO, les mini-miroirs déformables piézoélectriques d’OKO, des mini-miroirs déformables magnétiques d’ALPAO (issus du LAOG et du LETI), et dernièrement, les réseaux de diffraction programmables produits par SLM. D’autres composants provenant d’instituts européens (CSEM) sont également attendus.



© LAM - Laboratoire d’Astrophysique de Marseille

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